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          真空应用中的钛泵一般指的是什么

          信息来源:珂勒曦 时间:2020-03-12 07:52:00 浏览次数:-

          真空应用中,钛泵是一种无污染的超高真空泵。也有人会将其他一些含钛金属材质的泵称为钛泵。实际上它们指的是不一样的。今天螺杆真空泵厂家与大家一起看下真空应用中的钛泵是怎么回事。

          钛泵

          螺杆真空泵厂家在介绍一些常用的金属时,已经提到过许多性质活泼的金属具有很强的吸气能力,因此会被用于真空吸气应用。这其中钛就属于一种吸气能力强,且在室温下稳定易蒸发、安全、易于加工成型的活泼金属。

          在具体应用的钛泵中,螺杆真空泵厂家以前介绍过的溅射离子泵就是属于钛泵中的一种。溅射离子泵的极限真空很高(10-8~10-10Pa),操作方便,不易出故障,但钛淀积率小,抽速相比之下也较小,真空度高时抽速下降严重。除此外钛泵还包括蒸发钛泵、升华钛泵以及轨旋式钛泵。

          蒸发钛泵蒸发量可以做到很大,抽速可达百万升每秒,极限真空10-6~10-9Pa。升华钛泵的抽速同样很大,对氮的抽速可达10.1L/(cm2·s),对氢的抽速可达19.9L/(cm2·s),极限真空可达10-10Pa。但这两种钛泵对惰性气体抽速很小,需要搭配其他类型的泵,同时需要定期更换蒸发泵芯或钛升华器,操作维护困难。

          轨旋式钛泵也就是电离升华泵,或叫轨旋式离子泵。它兼具升华钛泵与溅射离子泵的特点,可抽除惰性与活性气体,工作于10-2~10-9Pa区间,在超高真空区域可保持恒定抽速。但由于电离抽气与钛损耗间有矛盾,不宜做成大泵。

          这些钛泵的抽气机理目前基本上都认为是基于3点:首先是活性气体分子被新鲜钛膜吸附形成化合物,随后被不断蒸发溅射形成的新钛膜所覆盖,新钛膜又开始吸附气体,如此循环形成稳定抽气;其次非活性气体则是被电离后,在电场力的作用下被打在钛膜上,随后被新蒸发的钛膜掩埋。能量大的离子则可以直接打入钛膜内被清除掉。因此没有电离作用的蒸发钛泵对惰性气体几乎没有抽气作用;最后活性气体分子离子化后,激发为亚稳态或解离为单个粒子增加化学活性,会使泵的抽速增加。

          因为可以实现无污染的超高真空泵,因此钛泵广泛应用于可控热核反应装置、加速器装置、空间环境模拟、半导体元件的镀膜技术、电真空工业等。

          珂勒曦是一家坚持自主研发的螺杆真空泵厂家,旗下螺杆真空泵产品自研型线,清洁无污染,拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势,广泛适用于医药、化工、半导体等行业。如果您对珂勒曦螺杆真空泵感兴趣或想了解更多,欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线:400-886-7766,期待您的来电。

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